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物質の温度が上昇すると固体から液体へ液体から気体へと状態が変化します さらなる温度上昇とともに気体の分子は解離して原子になり原子は電離現象によって正イオンと電子 マイナス の荷電粒子に分かれます 多数の正および負の電荷を帯びている粒子の混在している物理状態をプラズマとよびそのプラズマの熱的電磁的光学的ならびに化学的特性を利用して数多く工学的応用がなされています. 科学の力 地上に太陽を創る 核融合科学研究所 を参考. 飯島徹穂 近藤信一 青山隆司 著 はじめてのプラズマ技術 工業調査会 を参考. プラズマを用いての薄膜作製やエッチングなどを行うプラズマプロセッシング技術は半導体デバイス等の製造プロセスにおいて重要なキ テクノロジ の一つとなっています プロセスで利用されているプラズマの生成方式としては多数の方式がありますが代表的なものとして容量性結合型高周波放電ならびに誘導性結合型高周波放電があげられます このように生成されたプラズマ中に存在する荷電粒子に関連する物理量 密度エネルギ 等 や 活性種 励起粒子の密度などをプロ ブ法や発光分光法により計測しています.
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物質の温度が上昇すると固体から液体へ液体から気体へと状態が変化します さらなる温度上昇とともに気体の分子は解離して原子になり原子は電離現象によって正イオンと電子 マイナス の荷電粒子に分かれます 多数の正および負の電荷を帯びている粒子の混在している物理状態をプラズマとよびそのプラズマの熱的電磁的光学的ならびに化学的特性を利用して数多く工学的応用がなされています. 科学の力 地上に太陽を創る 核融合科学研究所 を参考. 飯島徹穂 近藤信一 青山隆司 著 はじめてのプラズマ技術 工業調査会 を参考. プラズマを用いての薄膜作製やエッチングなどを行うプラズマプロセッシング技術は半導体デバイス等の製造プロセスにおいて重要なキ テクノロジ の一つとなっています プロセスで利用されているプラズマの生成方式としては多数の方式がありますが代表的なものとして容量性結合型高周波放電ならびに誘導性結合型高周波放電があげられます このように生成されたプラズマ中に存在する荷電粒子に関連する物理量 密度エネルギ 等 や 活性種 励起粒子の密度などをプロ ブ法や発光分光法により計測しています.PARSED CONTENT
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